高溫燒結爐在使用時可能遇到哪些問題？如何解決？
瀏覽次數：2027發布日期：2021-10-19
高溫燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備。下面詳解高溫燒結爐的幾種常見故障應對措施：
一、冷卻水異常
1、確認加熱電源已停止。
2、爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。
3、冷卻水發生異常時，設備處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
二、壓縮空氣的停止
1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓其恢復工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓設備停下來。
三、停電
1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。
四、加熱電源掉電
1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
五、充氣氣體(氬氣或氮氣)停止
1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。
2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。
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